(1) Tratamiento previo al PVD, incluida la limpieza de artículos y el tratamiento previo.Los métodos de limpieza específicos incluyen la limpieza con detergente, la limpieza con disolventes químicos, la limpieza por ultrasonidos y la limpieza por bombardeo de iones.
(2) Ponerlos en el horno, incluida la limpieza de la cámara de vacío y los accesorios, y la instalación, puesta en marcha y conexión de artículos y accesorios.
(3) Aspiración, generalmente bombeando a 6,6 Pa o más, abra la parte delantera de la bomba de difusión antes para mantener la bomba de vacío y calentar la bomba de difusión.Después de que el precalentamiento es suficiente, la válvula alta se abre y se bombea a un vacío de medio fondo de 6 x 10-3 Pa con una bomba de difusión.
(4) Hornear, hornear los artículos a la temperatura deseada.
(5) Bombardeo de iones, el vacío es generalmente de 10 Pa a 10-1 Pa, el voltaje del bombardeo de iones es un alto voltaje negativo de 200 V a 1 KV y el tiempo de ataque es de 15 min a 30 min.
(6) Prefusión, ajuste de la corriente para prefundir el material, ajuste de la corriente para prefundir el revestimiento y desgasificación durante 1 min ~ 2 min.Deposición por evaporación.La corriente de evaporación se ajusta según sea necesario hasta que finalice el tiempo de deposición deseado.Enfriamiento, los artículos se enfrían a una cierta temperatura en la cámara de vacío.
(7) Después de sacar los artículos, se cierra la cámara de vacío, se evacua el vacío a l × l0-1Pa y la bomba de difusión se enfría a la temperatura permitida antes de que la bomba de mantenimiento y el agua de refrigeración se puedan apagar.